第16—20窟，因系著名高僧昙曜主持营建，故称昙曜五窟，是云冈最早开凿的五个洞窟。窟制相同，平面呈马蹄形，穹窿顶，窟内造像以三世佛为主，主像为巨大如来佛像，雕饰奇伟，冠于一世，分别象征着北魏的五位皇帝。

第16窟（立佛洞）：主像为释迦立佛，高13. 5米，波纹状发髻，清秀俊逸。佛像身穿褒衣博带式袈裟，胸前结带下垂，属北魏太和年间推行汉化时的 服制 。

第17窟（弥勒三尊洞）：主像是菩萨装的交脚弥勒，高15.6米，头戴宝冠，胸佩蛇饰及短璎珞，臂着钏，斜披络腋，束腰收腹，下穿羊肠长裙，狮子座，具有浓郁的异域情调。

西壁立佛面庞浑圆，造型古朴壮美。东壁坐佛双肩齐挺，服饰线条流畅，刀法娴熟。

窟内四壁以千佛雕刻为主，雕像清简劲直，纯真朴质，反映了云冈早期造像的艺术特点。西壁佛像背光外缘供养天，单腿半跪，双手捧莲，神情恬静，造型优美。明窗东壁太和十三年（487）造像龛，是云冈石窟分期断代的重要标尺。

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